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Das auf Aussetzung der Vollziehung gerichtete Verfahren ist ein Verfahren des vorläufigen Rechtsschutzes, in dem das Gericht überschlägig prüft, ob ernstliche Zweifel an der Rechtmäßigkeit des angefochtenen Steuerbescheids bestehen und der Einspruch oder die Klage Aussicht auf Erfolg haben. Dabei ist der vor dem Finanzgericht grundsätzlich geltende Untersuchungsgrundsatz eingeschränkt. Das Gericht entscheidet aufgrund der vorgelegten Steuerakten, des Vortrags des oder der Steuerpflichtigen und des Finanzamts sowie präsenter Beweismittel. Die Beteiligten haben die Tatsachen, auf die sie sich berufen wollen, darzulegen und (z. B. durch die Vorlage von Unterlagen) glaubhaft zu machen. Eine Tatsache ist dann glaubhaft gemacht, wenn sie mit überwiegender Wahrscheinlichkeit vorliegt. Die Glaubhaftmachung kann z. B. auch durch eine Versicherung an Eides statt erfolgen.
Das Aussetzungsverfahren ist ein Eilverfahren. Über einen Antrag auf Aussetzung der Vollziehung wird - in der Regel ohne mündliche Verhandlung - innerhalb weniger Monate entschieden. Daher werden keine langen Schriftsatzfristen eingeräumt. Es empfiehlt sich, den Antrag auf Aussetzung der Vollziehung bereits bei Antragstellung zu begründen.
Während eines gerichtlichen Aussetzungsverfahrens sieht das Finanzamt in der Regel von Vollstreckungsmaßnahmen ab.